启尔机电

浙江启尔机电技术有限公司成立于2013年,前身为浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队,专注于高端半导体装备超洁净流控系统及其关键零部件研发生产销售。承担国家863计划和国家科技重大专项等科研项目30余项,总投资约10亿元,获授权发明专利100余项。在高端光刻机液浸系统细分领域技术能力全球前三,为国内唯一具备该技术能力的企业。核心产品包括LP系列磁悬浮泵、BP系列波纹管泵等,批量应用于国内半导体设备龙头企业。员工300余人,博士12人。