科益虹源
C轮及以上
已认证
北京成立于 2016
总融资额
0
万人民币
专利数
0
已授权专利
创始团队
2
人
产品与业务
科益虹源
公司技术路线覆盖ArF与KrF(248nm)准分子激光光源,核心技术包括高功率准分子激光、高压脉冲电源、精密光学与控制系统,已掌握重频4kHz的193nm光刻光源核心技术。2020年交付国内首台40kW ArF光刻光源,支持28nm制程节点,打破美系长期垄断。产品矩阵包括RS222型光刻准分子激光器、KrF光源、IC检测激光器及OLED激光剥离设备(市占率70%以上),并启动LPP-EUV极紫外光源预研;配套建设总投资5亿元、年产30台(套)的光刻光源制造基地,产品应用于DUV光刻机光源系统。
产品亮点
科益虹源是一家位于半导体与集成电路领域的科技企业。国产ArF准分子激光器,光刻机核心光源,长期被美系垄断;国内唯一、全球第三家掌握40kW级ArF光源技术。
客户与合作伙伴
创始团队
叶甜春
科学家创始人
核心团队成员
叶甜春为中国科学院微电子研究所研究员、博导、原所长,国家科技重大专项02专项技术总师,IEEE Fellow
叶甜春为中国科学院微电子研究所研究员、博导、原所长,国家科技重大专项02专项技术总师,IEEE Fellow
持股
江锐
技术合伙人
核心团队成员
江锐科研身份未查到
江锐科研身份未查到
持股