埃瑞微半导体
Pre-A
已认证
江苏成立于 2023
总融资额
0
万人民币
专利数
0
已授权专利
创始团队
2
人
产品与业务
埃瑞微半导体
集成电路前道工艺量检测设备,主打以套刻误差(Overlay)为核心的套刻量测装备及缺陷检测设备,为光刻大批量生产提供眼睛与尺子;设备误差需控制在允许误差的1/10(9nm套刻误差对应0.9nm),直接影响光刻良率;面向16nm以下先进制程需求;团队来自美国KLA上海研发中心、中科院微电子所与清华精仪系。路线:IBO用于28~14nm、DBO用于20~10nm;关键指标Precision<0.6nm;企业称前道量检测设备被KLA垄断(占有率56%)、国产套刻设备占有率<5%。
产品亮点
国产半导体前道套刻量检测设备供应商。集成电路前道工艺量检测设备,主打以套刻误差(Overlay)为核心的套刻量测装备及缺陷检测设备,为光刻大批量生产提供眼睛与尺子;设备误差需控制在允许误差的1/10(9nm套刻误差对应0.9nm),直接影响光刻良率;面向16nm以下先进制程需求;团队来自美国KLA上海研发中心、中科院微电子所与清华精仪系。
客户与合作伙伴
创始团队
盖洪峰
科学家创始人
核心团队成员
盖洪峰：清华大学精密仪器系博士,原中国科学院微电子研究所研究员
盖洪峰：清华大学精密仪器系博士,原中国科学院微电子研究所研究员
持股
段洪伟
技术合伙人
核心团队成员
段洪伟：个人履历待补充；原始材料仅提供团队级科研背景，未明确到个人。
段洪伟：个人履历待补充；原始材料仅提供团队级科研背景，未明确到个人。
持股