科益虹源
科益虹源是一家位于半导体与集成电路领域的科技企业。国产ArF准分子激光器,光刻机核心光源,长期被美系垄断;国内唯一、全球第三家掌握40kW级ArF光源技术。
待评估
缺少样机、中试或量产阶段证据
战略/股权融资
原始口径：战略投资
半导体与集成电路
待核实
尚未收录专利或软著依据
评选判断
按照科研背景、技术创新、资本认可和赛道成长四个维度审阅
科研背景 · 30分
A级
教授、研究员或博导创办
技术创新 · 30分
依据已收录
关注首创性、量化指标和验证阶段
资本认可 · 25分
战略/股权融资
依据融资轮次、机构与持续跟投
赛道成长 · 15分
半导体与集成电路
关注市场空间、景气度与产业化路径
核心技术与产品
技术路线与产品形态
公司技术路线覆盖ArF与KrF(248nm)准分子激光光源,核心技术包括高功率准分子激光、高压脉冲电源、精密光学与控制系统,已掌握重频4kHz的193nm光刻光源核心技术。2020年交付国内首台40kW ArF光刻光源,支持28nm制程节点,打破美系长期垄断。产品矩阵包括RS222型光刻准分子激光器、KrF光源、IC检测激光器及OLED激光剥离设备(市占率70%以上),并启动LPP-EUV极紫外光源预研;配套建设总投资5亿元、年产30台(套)的光刻光源制造基地,产品应用于DUV光刻机光源系统。
技术栈
技术栈待补充
量化技术指标
量化技术指标待补充
独立创新点
- 科益虹源是一家位于半导体与集成电路领域的科技企业。国产ArF准分子激光器,光刻机核心光源,长期被美系垄断;国内唯一、全球第三家掌握40kW级ArF光源技术。
市场与竞争
目标细分
北京科益虹源光电技术有限公司成立于2016年7月,是国家02重大专项"准分子激光技术"成果产业化载体,专注光刻用准分子激光光源研发与制造。公司是国内光刻用准分子光源主要供应商,也是国内唯一、全球第三家掌握40kW级ArF光源技术的企业:2018年国内首台高能准分子激光器出货,2020年交付国内首台40kW ArF光刻光源,满足28nm制程需求,打破国外长期垄断;同时布局KrF光源、IC检测激光、OLED激光剥离设备并启动LPP-EUV预研。公司为上海微电子的光源系统供应商,2021年获华为哈勃投资入股。
市场容量
市场容量待补充
竞争对手
竞争对手待补充
竞争优势
竞争优势待补充
商业模式
收入模式
收入模式待补充
定价策略
定价策略待补充
获客渠道
获客渠道待补充
融资信息
当前融资阶段
战略投资
计划融资金额
计划融资金额待补充
融资历程
- 天使轮 2016.10(亦庄国投) → A轮 2017.09(中科院微电子所) → B轮 2018.01(中关村发展集团) → C轮 2021.06(哈勃投资、元诺资本) → 战略投资 2023.11(国科嘉和、新鼎资本、金浦投资)
资金用途
资金用途待补充
待补充的关键评审证据
以下内容缺失不会自动扣分，但会影响评分可信度和项目横向比较。